欧梅塞尔工艺冷却水PCW换热机组,是专为工业制程设备定制的循环冷却系统,集成了高效换热、变频泵组、精密过滤、智能控制四大核心模块,可精准匹配电子、半导体、光伏、光电、锂电及各种精密制造行业高热负荷冷却需求,以高效节能、稳定可靠、智能运维三大核心优势,成为制程设备的“温度守护者”。

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1系统架构:双循还设计

1.1一次侧(冷冻水):7–12℃软化水,负责冷源输入。

1.2二次侧(工艺水):18–30℃(可调),高纯水 / 去离子水,直接冷却精密制程设备。

2系统配置:高效可靠,零停机风险

1.1换热设备:高传热系数、低压损、易拆洗维护、可扩容,100%冗余配置,保障连续运行

1.2循环泵组:变频控制,100%冗余配置,故障自动切换,全链路实时监控,预警保护。

1.3. 精密过滤:袋式过滤器(50μm),不锈钢管路,严控水质杜绝污染,满足半导体制程要求

3控制精度:超高稳定性

1.1温控精度:常规精度可达 ±0.5℃;半导体光刻 / 刻蚀可达 ±0.1℃~±0.05℃。

1.2压力稳定:0.3–0.5MPa,波动≤±0.02MPa,流量恒定。

4自动化与监控:智能运维

1.1 PLC+HMI:西门子PLC,中英文触摸屏,实时显示温度、压力、流量、电导率等参数。

1.2自动控制:自动启停、PID调温、变频调速、自动补水、排污、加药。

1.3远程监控:支持上位机、物联网远程访问、数据记录、故障报警与追溯。

1.4安全保护:缺水、超温、超压、过载、漏电保护,故障自诊断。

5撬装一体化

工厂试压预调试,高度集成撬装出厂,现场接管接线即插即用,工期缩短60%+,快速匹配产线建设节奏。


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